-前言-

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)

Technical standard for specialty gas system engineering

GB 50646-2020

主編部門(mén)：中華人民共和國(guó)工業(yè)和信息化部

批準(zhǔn)部門(mén)：中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

施行日期：2020年10月1日

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

2020年 第59號(hào)

住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》的公告

現(xiàn)批準(zhǔn)(特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)》為國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),編號(hào)為GB 50646-2020,自2020年10月1日起實(shí)施。其中,第3.1.5(1、2）、3.1.6、3.2.5、3.2.6、3.2.7、3.3.7、3.3.8、4.2.1（2、5、6）、4.3.1、4.4.4、4.4.7、5.2.1（1、2、3、4、5）、5.2.3（1、2、3）、5.2.6、5.4.5、6.1.3、6.1.4、6.2.6、7.2.1、7.2.9、9.1.3、9.2.5、9.2.6（1）,9.3.2、9.3.15、9.3.17、10.6.2（7）、10.7.2條（款）為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行。原國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)規(guī)范》GB 50646-2011 同時(shí)廢止。

本標(biāo)準(zhǔn)在住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部門(mén)戶網(wǎng)站( www. mohurd. gov. cn）公開(kāi),并由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國(guó)計(jì)劃出版社出版發(fā)行。

中華人民共和國(guó)住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2020年2月27日

根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)(2017年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)制訂、修訂及相關(guān)工作計(jì)劃>的通知建標(biāo)[2016]248號(hào))的要求，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一研究院科技工程股份有限公司和中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司會(huì)同有關(guān)單位共同編制完成。

本標(biāo)準(zhǔn)在編制過(guò)程中，編制組根據(jù)我國(guó)特種氣體系統(tǒng)各類(lèi)站房的設(shè)計(jì)、建造和運(yùn)行的實(shí)際情況，進(jìn)行了廣泛的調(diào)查研究，同時(shí)考慮我國(guó)特種氣體的技術(shù)來(lái)源情況，對(duì)國(guó)外的有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行了研讀，并在全國(guó)范圍內(nèi)廣泛向有關(guān)單位或個(gè)人征求意見(jiàn)的基礎(chǔ)上，修改、完善標(biāo)準(zhǔn)，最后經(jīng)審查定稿。

本標(biāo)準(zhǔn)的主要技術(shù)內(nèi)容是:總則、術(shù)語(yǔ)、特種氣體站房、特種氣體工藝系統(tǒng)、生命安全系統(tǒng)、特種氣體管道輸送系統(tǒng)、建筑結(jié)構(gòu)、電氣與防雷、公用工程、特種氣體系統(tǒng)工程施工、特種氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收等。

本標(biāo)準(zhǔn)修訂的主要技術(shù)內(nèi)容是1.取消規(guī)范中的第5章“硅烷站”的設(shè)置，根據(jù)其專(zhuān)業(yè)內(nèi)容分別并入第3章至第9章的相關(guān)章節(jié)。

2.合并規(guī)范中的第10章“給水排水及消防”和第11章“采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)”，合并后為新標(biāo)準(zhǔn)的第9章“公用工程”。

3.根據(jù)我國(guó)工程建設(shè)的實(shí)際情況及國(guó)外相關(guān)規(guī)范的內(nèi)容，修改了第3章“特種氣體站房”的部分內(nèi)容。

4.將第11章“特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收”的部分內(nèi)容納入該章節(jié)的條文說(shuō)明。

本標(biāo)準(zhǔn)中以黑體字標(biāo)志的條文為強(qiáng)制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

本標(biāo)準(zhǔn)由住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對(duì)強(qiáng)制性條文的解釋?zhuān)晒I(yè)和信息化部負(fù)責(zé)日常管理，由信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)的過(guò)程中，請(qǐng)各單位結(jié)合工程實(shí)踐，認(rèn)真總結(jié)經(jīng)驗(yàn)，如發(fā)現(xiàn)需要修改或補(bǔ)充之處，請(qǐng)將意見(jiàn)和有關(guān)資料寄至信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司(地址:四川成都市雙林路251號(hào)；郵編:610021;傳真:028-84333172;E-mail:edrill @ edri.cn)，以供今后修訂時(shí)參考。

本標(biāo)準(zhǔn)主編單位:信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計(jì)研究院科技工程股份有限公司

中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司

本標(biāo)準(zhǔn)參編單位:上海正帆科技股份有限公司

中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司

工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

液化空氣(中國(guó))投資有限公司

咸陽(yáng)彩虹光電科技有限公司

成都愛(ài)德工程有限公司

中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人員:李驥 吳軍 閆詩(shī)源 薛長(zhǎng)立 黃勇 李東升 江元升 歐華星 夏雙兵 陸崎 張家紅 王凌旭 宋燕 錢(qián)春健 朱梅君 薛首文 毛冬凱 胡天碧 王鵬亮 顧愛(ài)軍

本標(biāo)準(zhǔn)主要審查人員:鄭秉孝 侯文川 崔永祥 劉小嬌 薛東升 姜?jiǎng)︿h 周禮譽(yù) 張志輝 孫效義

-1 總則-

1.0.1 為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收中貫徹國(guó)家現(xiàn)行法律、法規(guī)，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求，確保人身和財(cái)產(chǎn)安全、做到安全適用、技術(shù)先進(jìn)、保護(hù)環(huán)境、節(jié)約能源、經(jīng)濟(jì)合理，制定本標(biāo)準(zhǔn)。

1.0.2 本標(biāo)準(zhǔn)適用于新建、改建、擴(kuò)建的電子工業(yè)的特種氣體系統(tǒng)工程中的設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)收。

1.0.3 本標(biāo)準(zhǔn)不適用于特種氣體的制取、提純、灌裝等生產(chǎn)及配套裝置的工程設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)收。

1.0.4 特種氣體系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)、施工及驗(yàn)收除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定外，尚應(yīng)符合國(guó)家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

-2 術(shù)語(yǔ)-

2.0.1 特種氣體 specialty gas

電子產(chǎn)品生產(chǎn)外延、化學(xué)氣相沉積、刻蝕、摻雜等工藝中使用的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性、氧化性、惰性等特殊氣體。

2.0.2 自燃性氣體 pyrophoric gas

也稱(chēng)作發(fā)火氣體，是指在空氣中等于或低于 54°C時(shí)可能自燃的易燃?xì)怏w。

2.0.3 易燃性氣體 flammable gas

-種在 20℃和標(biāo)準(zhǔn)壓力101.3kPa狀態(tài)時(shí)空氣混合有-定易燃范圍的氣體。

2.0.4 劇毒性氣體 highly toxic gas

半致死濃度(空氣中吸入4h)小于或等于100mL/m3的氣體。

2.0.5 毒性氣體 toxic gas

半致死濃度(空氣中吸入4h)大于100mL/m3但不超過(guò)2500mL/m3的氣體。

2.0.6 腐蝕性氣體 corrosive gas

對(duì)材料或人體組織通過(guò)接觸產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)引起可見(jiàn)破壞或不可逆變化的氣體。

2.0.7 氧化性氣體 oxidizing gas

-般通過(guò)提供氧氣，比空氣更能導(dǎo)致和促使其他物質(zhì)燃燒的任何氣體。

2.0.8 惰性氣體 inert gas

在-般情況下不會(huì)與其他物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體。

2.0.9 低蒸汽壓力氣體 low vapor pressure gas

在室溫下的飽和蒸氣壓小于0.2MPa 的氣體。

2.0.10 特種氣體系統(tǒng) specialty gas system

特種氣體的儲(chǔ)存、輸送與分配過(guò)程的設(shè)備、管道和附件的總稱(chēng)。

2.0.11 大宗硅烷系統(tǒng) bulk silane system

是指包括ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、長(zhǎng)管拖車(chē)、鋼瓶集裝格、Y型臥式鋼瓶，或總的水容積超過(guò) 250L的硅烷系統(tǒng)。

2.0.12 大宗特種氣體系統(tǒng) bulk specialty gas system

-般指單個(gè)氣體設(shè)備容積大于400L的特種氣體儲(chǔ)存和送氣系統(tǒng)。

2.0.13 液態(tài)特種氣體系統(tǒng) liquid specialty gas system

是指以液態(tài)輸送、分配，在用戶終端進(jìn)行汽化的特種氣體系統(tǒng)。

2.0.14 氣體探測(cè)系統(tǒng) gas detector system(GDS)

設(shè)置在特種氣瓶柜、氣瓶架、閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)及其他特種氣體輸送設(shè)備與管道所覆蓋區(qū)域，通過(guò)檢測(cè)本質(zhì)氣體或關(guān)聯(lián)氣體在空氣中的濃度來(lái)判斷本質(zhì)氣體的泄漏，從而發(fā)出聲光報(bào)警信號(hào)、提供探測(cè)數(shù)據(jù)的系統(tǒng)。

2.0.15 氣體管理系統(tǒng) gas management system(GMS）

包含特種氣體探測(cè)系統(tǒng)、應(yīng)急處理系統(tǒng)、工作管理系統(tǒng)、監(jiān)視系統(tǒng)、數(shù)據(jù)傳輸與處理系統(tǒng)的氣體管理與控制系統(tǒng)的統(tǒng)稱(chēng)。

2.0.16 生產(chǎn)區(qū) fabrication area

電子生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)布置生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)的研發(fā)、測(cè)試的區(qū)域，有些生產(chǎn)過(guò)程將使用危險(xiǎn)性生產(chǎn)材料，該區(qū)域?yàn)樯a(chǎn)廠房的核心區(qū)域。

2.0.17 特種氣體間 specialty gas room

電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格、尾氣處理裝置等氣體設(shè)備，并通過(guò)管道向生產(chǎn)設(shè)備輸送特種氣體的房間。

2.0.18 特種氣體站 specialty gas station

電子工廠放置臥式氣瓶、氣瓶集裝格、IS0標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、長(zhǎng)管拖車(chē)、尾氣處理裝置等氣體設(shè)備，并通過(guò)管道向用生產(chǎn)廠房氣設(shè)備輸送特種氣體的獨(dú)立建(構(gòu))筑物。

2.0.19 特種氣體站房 specialty gas station and room

是指在電子工廠特種氣體間與特種氣體站的統(tǒng)稱(chēng)。

2.0.20 硅烷站 silane station

是指放置硅烷或硅烷混合氣體鋼瓶、鋼瓶集裝格、臥式鋼瓶、長(zhǎng)管拖車(chē)或ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、硅烷氣化裝置、尾氣處理裝置、電氣裝置等，并通過(guò)管道向生產(chǎn)廠房供應(yīng)硅烷氣體的獨(dú)立建(構(gòu))筑物或區(qū)域。

2.0.21 氣瓶集裝格the bundle of gas cylinders用專(zhuān)用金屬框架固定，采用集氣管將多只氣體鋼瓶接口并聯(lián)組合的氣體鋼瓶組單元。

2.0.22 ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組 ISO module

采用集氣管將氣體鋼瓶、長(zhǎng)管鋼瓶或氣瓶集裝格相互連接并安裝在專(zhuān)用金屬框架上的組合集裝模塊。

2.0.23 氣瓶柜 gas cabinet(GC)

特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備。

2.0.24 氣瓶架 gas rack(GR)

特種氣體使用的開(kāi)放式氣瓶放置與氣體輸送設(shè)備。

2.0.25 閥門(mén)箱 valve manifold box(VMB）

特種氣體在輸送過(guò)程中使用的封閉式管道分配箱體，用于向-個(gè)或多個(gè)工藝設(shè)備提供特種氣體。

2.0.26 閥門(mén)盤(pán) valve manifold panel(VMP)

特種氣體在輸送過(guò)程中使用的開(kāi)放式管道分配裝置，用于向-個(gè)或多個(gè)工藝設(shè)備提供特種氣體。

2.0.27 尾氣處理裝置 local scrubber

自燃性、易燃性、劇毒性、腐蝕性等氣體的排氣與吹掃氣體的現(xiàn)場(chǎng)處理裝置，處理后的尾氣達(dá)到規(guī)定排放濃度，并排入用氣車(chē)間的排氣管道。

2.0.28 臥式氣瓶 horizontal cylinder

用于儲(chǔ)存較多特種氣體的氣瓶。-般水容積為450L、950L。

2.0.29 限流孔板 restrict flow orifice（RFO)

限定流體系統(tǒng)最大流量的-種裝置。

2.0.30 過(guò)流開(kāi)關(guān) excess flow switch(EFS)

流體系統(tǒng)的流量超出設(shè)定值時(shí)，給出開(kāi)關(guān)信號(hào)。

2.0.31 負(fù)壓氣源 sub-atmospheric gas source(SAGS)

1型:在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下，鋼瓶?jī)?nèi)和閥門(mén)出口均為負(fù)壓的氣源。

2型:在標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力下，鋼瓶?jī)?nèi)為正壓，閥門(mén)出口為負(fù)壓的氣源。

2.0.32 不相容性 incompatible

不同氣體混合后即發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，釋放出能量并對(duì)環(huán)境產(chǎn)生危害作用的特性。

2.0.33 吹掃 purge

用氮?dú)?/a>或惰性氣體對(duì)特種氣體系統(tǒng)內(nèi)的本質(zhì)氣體或工作氣體進(jìn)行置換的過(guò)程。

2.0.34 排氣 vent

特種氣體設(shè)備與系統(tǒng)中排出的本質(zhì)氣體或工作氣體。

2.0.35 氣體面板 gas panel

集成切斷閥門(mén)、調(diào)壓閥、過(guò)濾器、壓力計(jì)等零部件的專(zhuān)用設(shè)施。

2.0.36 半致死濃度 lethal concentration 50(LC50)

在空氣中使健康的成年大白鼠連續(xù)吸入1h，能引起受試白鼠在14d內(nèi)死亡-半的氣體的濃度。

2.0.37 爆炸濃度下限值 low explosion limit(LEL)

易燃性氣體在空氣或氧化氣體中發(fā)生爆炸的濃度下限值。

2.0.38 最高允許濃度值threshold limit value(TLV)

毒性氣體在空氣中的濃度小于該值時(shí)，充分且持續(xù)暴露于該環(huán)境中的作用人員的健康不會(huì)受到損害。

2.0.39 最高允許濃度值-時(shí)間加權(quán)平均允許濃度 limit value- time weighted average(TLV-TWA)threshold

作業(yè)人員按每天8h，每周5d工作制工作，健康不會(huì)受到損害的毒性氣體時(shí)間加權(quán)平均濃度。

-3 特種氣體站房-

3.1 一般規(guī)定

3.1.1 特種氣體站房應(yīng)布置在獨(dú)立的建(構(gòu))筑物或生產(chǎn)廠房的特種氣體間內(nèi)。

3.1.2 布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間，可采用氣瓶柜、氣瓶架、臥式氣瓶、氣瓶集裝格等向生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)特種氣體。

3.1.3 布置在單獨(dú)建(構(gòu))筑物的特種氣體站，可采用氣瓶集裝格、臥式氣瓶、ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組、長(zhǎng)管拖車(chē)等向生產(chǎn)設(shè)備供應(yīng)特種氣體。

3.1.4 布置在生產(chǎn)區(qū)的特種氣體設(shè)備應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體的最大允許使用儲(chǔ)存量應(yīng)符合表3.1.4的規(guī)定；

2 特種氣體應(yīng)設(shè)置氣瓶柜、排風(fēng)裝置；

3 生產(chǎn)區(qū)應(yīng)設(shè)置自動(dòng)消防噴淋系統(tǒng)，并應(yīng)用防火隔墻與其他區(qū)域相互隔離；當(dāng)特種氣體的使用儲(chǔ)存量超過(guò)表3.1.4規(guī)定的數(shù)量時(shí)，應(yīng)設(shè)置特種氣體間。

表3.1.4 生產(chǎn)廠房生產(chǎn)區(qū)最大允許使用儲(chǔ)存量

注：氣體總量為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體體積量。

3.1.5特種氣體間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體間應(yīng)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，并應(yīng)按負(fù)壓設(shè)計(jì)；

2 特種氣體間應(yīng)采用防火隔墻相互隔離；

3 特種氣體間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

3.1.6 當(dāng)生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的自燃性特種氣體的儲(chǔ)存量超過(guò)57m3時(shí)，應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的特種氣體站。

3.1.7 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)生產(chǎn)區(qū)的低蒸汽壓力特種氣體設(shè)備宜靠近生產(chǎn)設(shè)備布置。

3.1.8 特種氣體間應(yīng)集中布置在生產(chǎn)廠房一樓或其他輔助樓層，位置宜靠外墻。

3.1.9 特種氣體間的附近區(qū)域宜布置貨運(yùn)通道、貨運(yùn)電梯等運(yùn)輸設(shè)施。

3.2 特種氣體站房布置

3.2.1 特種氣體應(yīng)根據(jù)其物理化學(xué)性能及安全特性進(jìn)行分類(lèi)和工程設(shè)計(jì)。

3.2.2特種氣體站房的生產(chǎn)的火災(zāi)危險(xiǎn)性類(lèi)別應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

3.2.3 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間根據(jù)氣體性質(zhì)宜分為易燃性氣體間、毒性(腐蝕性)氣體間、惰性(氧化性)氣體間、劇毒性氣體間等。

3.2.4 獨(dú)立的特種氣體站根據(jù)氣體種類(lèi)、兼容性等因索應(yīng)分為不同種類(lèi)的特種氣體間。

3.2.5 大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備應(yīng)布置在獨(dú)立的開(kāi)敞式建筑，不得布置在地下室。開(kāi)敞式建筑應(yīng)帶屋頂遮蓋，外墻面的遮擋部分不得大于三面，且墻體與墻體之間、墻體與屋頂結(jié)構(gòu)之間應(yīng)設(shè)置自然通風(fēng)的空間。硅烷容器與四周障礙物的最小距離小于障礙物高度的2倍時(shí)，大宗硅烷系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置機(jī)械通風(fēng)。

3.2.6 硅烷站內(nèi)大宗容器之間以及容器與工藝氣體盤(pán)之間的距離小于9m時(shí)，應(yīng)設(shè)置 2h以上的防火隔斷。

3.2.7 硅烷氣瓶柜內(nèi)的硅烷鋼瓶應(yīng)固定在鋼架上，兩個(gè)鋼瓶之間應(yīng)采用鋼板隔離，鋼板厚度應(yīng)大于或等于6mm。

3.2.8 非大宗硅烷系統(tǒng)氣體設(shè)備可放置在室內(nèi)，不得建在地下室。

3.2.9 布置在開(kāi)敞式建筑中的大宗硅烷站應(yīng)在設(shè)備區(qū)域設(shè)置防雨防曬措施。

3.3 特種氣體設(shè)備布置

3.3.1 不相容特種氣體的氣瓶架應(yīng)布置在不同房間里；當(dāng)布置在同一房間時(shí)，氣瓶架之間的距離應(yīng)大于6m。

3.3.2 同時(shí)具有易燃性和毒性氣體的設(shè)備應(yīng)放在易燃性氣體間。

3.3.3 特種氣體房間內(nèi)的氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等設(shè)備宜靠墻布置，具有相同或相近性質(zhì)的氣體設(shè)備應(yīng)布置在一起。

3.3.4 特種氣體間的中間通道寬度不得小于2m，特種氣體設(shè)備的布置應(yīng)預(yù)留滿足設(shè)備運(yùn)輸、維修與操作、安全逃生的空間。

3.3.5 液化特種氣體設(shè)備和系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)其氣體特性設(shè)置加熱裝置。

3.3.6 液化特種氣體設(shè)備應(yīng)設(shè)置不同種類(lèi)的磅秤裝置。

3.3.7 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)配置專(zhuān)用容器或堵漏工具、排風(fēng)裝置和劇毒性特種氣體在事故狀態(tài)下的排風(fēng)處理裝置。

3.3.8 劇毒性特種氣體供應(yīng)間應(yīng)設(shè)置雙鎖安全門(mén)、防盜窗和防止人員入侵的技術(shù)防范設(shè)施。

3.3.9 特種氣體站房?jī)?nèi)特種氣體生產(chǎn)儲(chǔ)量達(dá)到重大危險(xiǎn)源的數(shù)量時(shí)，設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《危險(xiǎn)化學(xué)品重大危險(xiǎn)源辨識(shí)》GB18218的有關(guān)規(guī)定。

3.3.10 特種氣體系統(tǒng)的電氣控制室的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 電氣控制室應(yīng)布置在與特種氣體間相鄰的控制室內(nèi)；

2 電氣控制室應(yīng)以耐火極限不小于3.0h的隔墻和不低于1.50h的樓板與特種氣體間隔開(kāi)，穿越隔墻的管道孔隙應(yīng)以防火材料填堵。

-4 特種氣體工藝系統(tǒng)-

4.1 一般規(guī)定

4.1.1 特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置：

1 儲(chǔ)存、供氣的氣瓶柜、氣瓶架、集裝格、臥式氣瓶、長(zhǎng)管拖車(chē)；

2 氣體分配用閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)；

3 輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng)；

4 尾氣處理裝置。

4.1.2 特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對(duì)特種氣體工藝參數(shù)、污染控制、使用安全的要求。

4.1.3 不相容的特種氣體的排氣管道不得接人同一排氣系統(tǒng)。

4.1.4 不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)。

4.2 特種氣體輸送系統(tǒng)

4.2.1 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置；

2 不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中；

3 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板；

4 系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過(guò)熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)；

5 氣瓶柜閉門(mén)時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓，柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次/h；

6 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測(cè)器；

7 氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2.5mm,并應(yīng)有防腐蝕涂層；

8 氣瓶柜門(mén)應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能，并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗；氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求；

9 氣瓶柜、氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識(shí)牌；

10 當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí)，其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058 的有關(guān)規(guī)定。

4.2.2 特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門(mén)，并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門(mén)，位置應(yīng)靠近氣瓶；

2 氣瓶壓力大于0.1MPa的自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過(guò)流開(kāi)關(guān)；

3 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃、輔助抽真空裝置，真空管路應(yīng)設(shè)止回閥；

4 氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口。

4.2.3 可燃和自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 當(dāng)硅烷氣瓶使用直徑0.25mm限流孔時(shí)，氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次/h，當(dāng)使用直徑0.15mm 限流孔時(shí)，氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于400次/h，且氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控；

2 白燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器；

3 易燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)；

4 自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板。

4.2.4 大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立氣瓶?jī)?chǔ)罐或長(zhǎng)管拖車(chē)等的壓力指示或鋼瓶稱(chēng)重裝置、連接回型管、氣流控制的氣體面板、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜等裝置；

2 大宗特種氣體系統(tǒng)的功能配備應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.1條的有關(guān)規(guī)定；

3 液態(tài)氣體瓶應(yīng)設(shè)計(jì)鋼瓶加熱與保溫裝置；

4 減壓降溫效應(yīng)顯著的氣體，應(yīng)在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱。

4.2.5 液態(tài)特種氣體系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的液體槽罐、液體輸送柜、連接回型管、驅(qū)動(dòng)氣體單元、吹掃氮?dú)鈫卧?、電氣控制柜、重量?jì)量等裝置；

2 液態(tài)特種氣體系統(tǒng)宜利用驅(qū)動(dòng)氣體壓力將液態(tài)特種氣體從槽罐輸送至液態(tài)特種氣體柜，或從液態(tài)特種氣體柜直接驅(qū)動(dòng)輸送至用氣工藝設(shè)備，液態(tài)特種氣體亦可采用泵送；

3 用氣點(diǎn)應(yīng)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器，將液態(tài)特種氣體鼓泡或直接蒸發(fā)，以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備；

4 液態(tài)特種氣瓶柜功能設(shè)置應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.1條的有關(guān)規(guī)定；

5 具有自燃性和遇水反應(yīng)性的金屬有機(jī)物前驅(qū)體液體，供應(yīng)柜應(yīng)設(shè)置相應(yīng)滅火系統(tǒng)；底部應(yīng)設(shè)置收集槽，并應(yīng)放置吸附材料。

4.2.6 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的閥門(mén)箱設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置；

2 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器；

3 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥；

4 氣體分支路應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的吹掃氣體裝置。

4.2.7 惰性及氧化性特種氣體系統(tǒng)的閥門(mén)盤(pán)設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)有進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置：

2 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過(guò)濾器；

3 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立出口隔離閥門(mén)。

4.2.8 負(fù)壓氣源特種氣體的氣瓶柜、氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合負(fù)壓氣源特種氣體的特性。

4.3 吹掃和排氣系統(tǒng)

4.3.1 特種氣體系統(tǒng)吹掃氣體的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨(dú)立的氣源連接，不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連；

2 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源；

3 吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥。

4.3.2 吹掃氮?dú)獾臍怏w面板應(yīng)設(shè)有壓力調(diào)節(jié)閥、排氣管、高低壓截止閥、高低壓壓力指示裝置、安全閥。

4.3.3 特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 真空發(fā)生器宜采用氮?dú)庾鳛橐錃庠矗?/p>

2 抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)夤┙o；自燃性和腐蝕性氣體，氮?dú)夤?yīng)管道應(yīng)設(shè)置止回閥和微漏閥。

4.3.4 特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃裝置；

2 自燃性、易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體的排空氣體應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置處理，處理后的氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家廢氣排放要求。

4.3.5 特種氣體尾氣處理裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 尾氣處理裝置的類(lèi)型，應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇，不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置；

2 尾氣處理裝置應(yīng)靠近特種氣體柜、氣瓶架等特種氣體設(shè)備布置；

3 特種氣體的尾氣處理方法宜采用干式吸附、濕式洗滌、加熱分解、燃燒、等離子分解、稀釋及以上幾種處理方式的組合。

4.4 硅烷工藝系統(tǒng)

4.4.1 硅烷工藝系統(tǒng)的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)下列因素確定：

1 硅烷站的規(guī)模；

2 硅烷的物理化學(xué)性質(zhì)；

3 當(dāng)?shù)毓柰楣?yīng)的充裝、運(yùn)輸狀況；

4 用戶對(duì)硅烷純度、壓力和負(fù)荷變化的要求。

4.4.2 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有硅烷容器、氣體面板、閥門(mén)箱及連接管道。

4.4.3 硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過(guò)濾、吹掃、排氣、安全控制的功能。

4.4.4 硅烷系統(tǒng)必須采用獨(dú)立的惰性氣源進(jìn)行吹掃。

4.4.5 硅烷閥門(mén)箱設(shè)置除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.6條的規(guī)定外，還應(yīng)配置惰性氣體吹掃裝置、氣體泄漏探測(cè)器和紫外紅外火焰探測(cè)器。

4.4.6 硅烷系統(tǒng)的排氣裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風(fēng)系統(tǒng)；

2 排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃，吹掃氣體流速不得小于0.3m/s。

4.4.7 硅烷連接管道鋼瓶側(cè)應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥，硅烷站的安全出口應(yīng)設(shè)置手動(dòng)緊急切斷按鈕，至少有一個(gè)手動(dòng)緊急切斷按鈕與輸送裝置的距離不應(yīng)小于4.6m。

4.4.8 硅烷系統(tǒng)閥門(mén)、附件的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬材質(zhì)的波紋管閥、隔膜閥、調(diào)壓閥；

2 硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)流量配置不同直徑的限流孔板：

3 硅烷系統(tǒng)應(yīng)配置過(guò)流開(kāi)關(guān)、緊急切斷閥，調(diào)壓閥的加熱裝置應(yīng)根據(jù)流量核算確定。

-5 生命安全系統(tǒng)-

5.1 特種氣體管理系統(tǒng)

5.1.1 應(yīng)用多種特種氣體的生產(chǎn)廠房宜設(shè)特種氣體管理系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)配置特種氣體的連續(xù)檢測(cè)、指示、報(bào)警的功能，并應(yīng)能記錄、存儲(chǔ)和打??；

2 特種氣體管理系統(tǒng)宜為獨(dú)立的系統(tǒng)，應(yīng)具有特種氣體探測(cè)、應(yīng)急處理、工作管理、監(jiān)視、數(shù)據(jù)傳輸與處理的功能；

3 特種氣體管理系統(tǒng)宜與工廠設(shè)備管理控制系統(tǒng)和消防報(bào)警控制系統(tǒng)通過(guò)數(shù)據(jù)總線相連。

5.1.2 特種氣體管理系統(tǒng)應(yīng)設(shè)在全廠動(dòng)力控制中心，在消防控制室和應(yīng)急處理中心宜設(shè)特種氣體報(bào)警顯示單元和集中應(yīng)急閥門(mén)切斷控制盤(pán)。

5.1.3 特種氣體氣瓶柜、氣瓶架、閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)的可編程控制器的通信接口應(yīng)與氣體管理系統(tǒng)連接。

5.2 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)

5.2.1 儲(chǔ)存、輸送、使用特種氣體的下列區(qū)域或場(chǎng)所應(yīng)設(shè)置特種氣體探測(cè)裝置：

1 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體氣瓶柜和閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處；

2 生產(chǎn)工藝設(shè)備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門(mén)箱的排風(fēng)管口處，工藝設(shè)備的排風(fēng)管口處；

3 生產(chǎn)工藝設(shè)備的特種氣體的廢氣處理裝置排風(fēng)出管口處；

4 惰性氣體間可能產(chǎn)生窒息的區(qū)域；

5 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體設(shè)備間；

6 其他可能發(fā)生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環(huán)境。

5.2.2 易燃性、自燃性特種氣體探測(cè)系統(tǒng)、有毒氣體檢測(cè)裝置應(yīng)設(shè)置一級(jí)報(bào)警或二級(jí)報(bào)警。

5.2.3 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體、氧氣檢測(cè)裝置報(bào)警設(shè)定值應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性氣體的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值；

2 劇毒性、毒性氣體的一級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于 50%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)大于100%空氣中有害物質(zhì)的最高允許濃度值一時(shí)間加權(quán)平均容許濃度(TLV-TWA)；

3 設(shè)在惰性氣體間的氧氣探測(cè)器，其一級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)小于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級(jí)報(bào)警設(shè)定值不應(yīng)小于18%氧氣體積濃度(V/V)；

4 二氧化碳氣體系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳?xì)怏w探測(cè)器，其報(bào)警設(shè)定值應(yīng)為5000ppm。

5.2.4 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體、氧氣檢測(cè)裝置的檢測(cè)報(bào)警響應(yīng)時(shí)間應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 自燃性、易燃性氣體檢測(cè)報(bào)警采用擴(kuò)散式應(yīng)小于20s，吸入式應(yīng)小于 15s；

2 劇毒性、毒性氣體檢測(cè)報(bào)警采用擴(kuò)散式應(yīng)小于40s，吸入式應(yīng)小于20s；

3 氧氣檢測(cè)報(bào)警采用擴(kuò)散式應(yīng)小于20s，吸入式應(yīng)小于15s。

5.2.5 當(dāng)特種氣體相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，特種氣體探測(cè)器應(yīng)同時(shí)設(shè)置在釋放源上方和廠房最高點(diǎn)易積氣處。當(dāng)特種氣體相對(duì)密度大于0.75 時(shí)，特氣體探測(cè)器應(yīng)設(shè)置在釋放源下方離地面0.3m~0. 5m處。

5.2.6 硅烷排風(fēng)管道的氣體探測(cè)器的報(bào)警設(shè)定值，應(yīng)小于或等于50ppm，并應(yīng)與硅烷氣源的自動(dòng)切斷閥聯(lián)鎖；硅烷站環(huán)境氣體探測(cè)器的報(bào)警設(shè)定值應(yīng)小于或等于5ppm，環(huán)境氣體探測(cè)器報(bào)警時(shí)，硅烷控制系統(tǒng)不應(yīng)自動(dòng)切斷硅烷輸送管路。

5.2.7 有機(jī)金屬前軀體材料應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的偵測(cè)及火災(zāi)報(bào)警裝置，當(dāng)無(wú)對(duì)應(yīng)偵測(cè)器時(shí)，應(yīng)根據(jù)其分解物選擇偵測(cè)器。

5.3 其他安全設(shè)施

5.3.1 自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配及使用場(chǎng)所的安全設(shè)施應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)設(shè)置數(shù)字式視頻監(jiān)控?cái)z像機(jī)和門(mén)禁；

2 生產(chǎn)廠房入口處、氣瓶柜間入口處、潔凈室內(nèi)宜設(shè)置安全管理顯示屏；

3 使用場(chǎng)所內(nèi)及相關(guān)建筑主入口、內(nèi)通道等處應(yīng)設(shè)置燈光閃爍報(bào)警裝置，燈光顏色應(yīng)與其他燈光報(bào)警裝置相區(qū)別；

4 入口處應(yīng)設(shè)緊急手動(dòng)按鈕，應(yīng)急處理中心室也應(yīng)設(shè)緊急手動(dòng)按鈕；

5 用于自燃性、易燃性、劇毒性、毒性氣體的儲(chǔ)存、分配及使用場(chǎng)所的監(jiān)控視頻圖像宜預(yù)留通過(guò)網(wǎng)絡(luò)接入政府安全監(jiān)督、管理部門(mén)的接口，且監(jiān)控視頻圖像存儲(chǔ)時(shí)間不應(yīng)低于30d。

5.3.2 在地震多發(fā)地區(qū)，使用特種氣體的主要生產(chǎn)車(chē)間宜設(shè)置地震探測(cè)裝置，地震探測(cè)信號(hào)應(yīng)與特種氣體探測(cè)系統(tǒng)相連。

5.3.3 特種氣體站房?jī)?nèi)應(yīng)在氣瓶柜的基座上設(shè)置一臺(tái)地震探測(cè)裝置，并應(yīng)以氣體站房為基準(zhǔn)點(diǎn)，等距離三角形延伸廠區(qū)內(nèi)另外兩點(diǎn)設(shè)置地震探測(cè)裝置。地震探測(cè)裝置不得設(shè)置于人員進(jìn)出頻繁的地點(diǎn)，并應(yīng)避免受外力干擾而造成誤動(dòng)作。

5.3.4 封閉的自燃性、易燃性氣體的特種氣體間宜設(shè)置防爆紫外、紅外火焰探測(cè)器。

5.3.5 特種氣體站房應(yīng)配置防毒面具、自給式呼吸器等安全防護(hù)設(shè)施。

5.3.6 特種氣體站房屋頂最高點(diǎn)處應(yīng)設(shè)置明顯的風(fēng)向標(biāo)。

5.4 特種氣體報(bào)警的聯(lián)動(dòng)控制

5.4.1 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)在確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，應(yīng)自動(dòng)關(guān)閉相關(guān)部位的氣體切斷閥，并應(yīng)接受反饋信號(hào)，特種氣體站房的事故通風(fēng)裝置應(yīng)與其氣體泄漏和氣體切斷信號(hào)聯(lián)鎖。

5.4.2 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏時(shí)，應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)泄漏現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置，該聲光報(bào)警應(yīng)有別于火災(zāi)報(bào)警裝置，并應(yīng)自動(dòng)啟動(dòng)應(yīng)急廣播系統(tǒng)。

5.4.3 特種氣體探測(cè)系統(tǒng)確認(rèn)氣體泄漏后，應(yīng)關(guān)閉有關(guān)部位的電動(dòng)防火門(mén)、防火卷簾門(mén)，自動(dòng)釋放門(mén)禁，可聯(lián)動(dòng)閉路電視監(jiān)控系統(tǒng)，應(yīng)啟動(dòng)相應(yīng)區(qū)域的攝像機(jī)，并應(yīng)自動(dòng)錄像。

5.4.4 地震探測(cè)裝置探測(cè)到里氏5級(jí)以上地震，且兩臺(tái)地震探測(cè)裝置同時(shí)報(bào)警時(shí)，特種氣體管理系統(tǒng)確認(rèn)收到的信號(hào)后，應(yīng)啟動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)的聲光報(bào)警裝置;同時(shí)，應(yīng)關(guān)閉氣瓶柜、氣瓶架、閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)的切斷閥門(mén)。

5.4.5 室外大宗硅烷系統(tǒng)的鋼瓶區(qū)域內(nèi)必須設(shè)置紫外、紅外火焰探測(cè)器；室內(nèi)硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用火焰探測(cè)器或感溫探測(cè)器。

-6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)-

6.1 一般規(guī)定

6.1.1 特種氣體管道輸送系統(tǒng)應(yīng)包括特種氣體儲(chǔ)存、分配管道系統(tǒng)、工藝設(shè)備和尾氣處理系統(tǒng)的管道以及管件、閥門(mén)、過(guò)濾器、減壓裝置、壓力釋放裝置、壓力監(jiān)測(cè)裝置等部件。

6.1.2 生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)特種氣體管道的主干管，應(yīng)敷設(shè)在技術(shù)夾層或技術(shù)夾道內(nèi);當(dāng)與水電管線共架時(shí)，特種氣體的管道宜設(shè)在水、電管線上部。

6.1.3 生產(chǎn)廠 房潔凈室內(nèi)的自燃性、易燃性和毒性特種氣體管道應(yīng)明敷，并應(yīng)采用焊接。

6.1.4 特種氣體穿過(guò)生產(chǎn)區(qū)墻壁 與樓板處的管段應(yīng)設(shè)置套管，套管內(nèi)的管道不得有焊縫，套管與管道之間應(yīng)采用密封措施。易燃性、毒性、腐蝕性特種氣體管道的機(jī)械連接處，應(yīng)置于排風(fēng)罩內(nèi)。

6.1.5 自燃性、易燃性、毒性特種氣體管道應(yīng)避免穿過(guò)不使用此類(lèi)氣體的房間，當(dāng)必須穿過(guò)時(shí)應(yīng)設(shè)套管或使用雙層管。

6.1.6 特種氣體管道不宜出現(xiàn)盲管及U形彎等死區(qū)。

6.1.7 易燃性、氧化性特種氣體管道，應(yīng)設(shè)置防靜電接地。

6.1.8 室外布 置的特種氣體管道宜架空布置。

6.2 材料選型

6.2.1 特種氣體管道和管件應(yīng)采用奧氏體不銹鋼無(wú)縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

6.2.2 腐蝕性氣體管道，宜采用二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或鎳基合金材料的無(wú)縫鋼管，內(nèi)表面應(yīng)進(jìn)行潔凈和鈍化處理。

6.2.3 特種氣體閥門(mén)的密封座材質(zhì)應(yīng)與氣體性質(zhì)匹配。

6.2.4 雙層管的外層管道宜采用不銹鋼管道，內(nèi)層管道應(yīng)按所輸送特種氣體的性質(zhì)匹配。

6.2.5 特種氣體系統(tǒng)的排氣、尾氣真空管道宜采用普通不銹鋼管道，并應(yīng)經(jīng)過(guò)脫脂處理。

6.2.6 氧化性氣體系統(tǒng)應(yīng)采用專(zhuān)用禁油閥門(mén)、附件和管材，并應(yīng)進(jìn)行脫脂處理。

6.3 管道設(shè)計(jì)

6.3.1 特種氣體管道的設(shè)計(jì)應(yīng)根據(jù)輸送流體的特性參數(shù)，并結(jié)合管道布置、環(huán)境等進(jìn)行，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50316的有關(guān)規(guī)定。

6.3.2 特種氣體管道的設(shè)計(jì)應(yīng)符合用氣設(shè)備對(duì)流量、壓力的要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《化工裝置工藝系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定》HG/T 20570的有關(guān)規(guī)定。

6.3.3 管材的壁厚應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《流體輸送用不銹鋼無(wú)縫鋼管》GB/T 14976的有關(guān)規(guī)定。

6.3.4 液態(tài)特種氣體水平管道的坡度不應(yīng)小于0.3%，坡度應(yīng)坡向供液設(shè)備或收集器。

6.3.5 具有自燃性、劇毒性、強(qiáng)腐蝕性的特種氣體，宜采用雙套管設(shè)計(jì)。

6.3.6 低蒸汽壓特種氣體的管道應(yīng)設(shè)置伴熱和保溫措施，加熱溫度不宜超過(guò)50℃。

6.3.7 特種氣體管道宜采用全自動(dòng)軌道焊接。閥件或管件連接處應(yīng)采用徑向面密封連接，不宜采用螺紋或法蘭連接。

6.3.8 特種氣體閥門(mén)應(yīng)采用隔膜閥或波紋管閥。

6.3.9 特種氣體管道連接用密封墊片宜選用不銹鋼或鎳墊片，墊片的材質(zhì)與特種氣體的性質(zhì)應(yīng)相容。

6.3.10 特種氣體輸送系統(tǒng)易產(chǎn)生顆粒的閥件下游宜安裝過(guò)濾器。

6.4 管道標(biāo)識(shí)

6.4.1 特種氣體管道應(yīng)進(jìn)行管道標(biāo)識(shí)。

6.4.2 特種氣體管道應(yīng)以不同顏色、字體等標(biāo)識(shí)氣體名稱(chēng)、主要危險(xiǎn)特性和流向，并應(yīng)符合表6.4.2的規(guī)定。

表6.4.2 特種氣體管路標(biāo)識(shí)要求

6.4.3 管道標(biāo)識(shí)的描述、順序和間距可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整，描述宜為內(nèi)容物化學(xué)分子式、中文名、主要危險(xiǎn)特性、流動(dòng)方向(圖6.4.3)。

圖6.4.3 管道標(biāo)識(shí)

6.4.4 標(biāo)識(shí)的尺寸應(yīng)按管徑確定，并應(yīng)符合表6.4.4的規(guī)定，標(biāo)識(shí)較長(zhǎng)時(shí)，可根據(jù)實(shí)際需要增加標(biāo)識(shí)長(zhǎng)度。

表6.4.4 標(biāo)識(shí)尺寸與管徑的對(duì)照

6.4.5 管道上粘貼標(biāo)識(shí)應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 管道內(nèi)徑小于或等于100mm的水平直管道，以人員視線為基準(zhǔn)方位，應(yīng)每隔3m粘貼一張；管道內(nèi)徑大于100mm 的水平管道，以人員視線為基準(zhǔn)方位，應(yīng)每隔6m粘貼一張；

2 管道內(nèi)徑小于或等于100mm的垂直管道，應(yīng)每隔 2m粘貼一張，并應(yīng)以地面向上150cm 處為基準(zhǔn)位置粘貼一張；管道內(nèi)徑大于100mm的垂直管道，應(yīng)每隔4m粘貼一張，并應(yīng)以地面向上150cm處為基準(zhǔn)位置粘貼一張；

3 管道閥件、彎頭的連接處，工藝設(shè)備與管道的連接處，以及管道穿越墻、壁、樓板的兩側(cè)部分都應(yīng)各粘貼一張；標(biāo)識(shí)粘貼應(yīng)整齊、牢固，水平管道的標(biāo)識(shí)中心應(yīng)相互對(duì)齊，垂直管道的標(biāo)識(shí)上邊緣應(yīng)對(duì)齊。

-7 建筑結(jié)構(gòu)-

7.1 一般規(guī)定

7.1.1 特種氣體站的平面布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體站應(yīng)布置在輔助生產(chǎn)區(qū)，且遠(yuǎn)離有明火或散發(fā)火花的地點(diǎn)；

2 特種氣體站不得布置在人員密集地段和主要交通要道臨近處；

3 特種氣體站的設(shè)置應(yīng)方便運(yùn)輸車(chē)輛和消防車(chē)輛的進(jìn)出；

4 特種氣體站的儲(chǔ)存、分配區(qū)域應(yīng)設(shè)有防止車(chē)輛撞擊的保護(hù)措施；

5 大宗硅烷站宜設(shè)置不燃燒體的實(shí)體圍墻，其高度不應(yīng)小于2.0m。

7.1.2 有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體站房的承重結(jié)構(gòu)宜采用鋼筋混凝土或鋼框架、排架結(jié)構(gòu)。鋼框架、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防火保護(hù)措施，腐蝕性特種氣體間的鋼結(jié)構(gòu)、排架結(jié)構(gòu)應(yīng)采用防腐蝕保護(hù)措施。

7.1.3 有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體站房間應(yīng)設(shè)置泄壓設(shè)施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7.2 建筑防火

7.2.1 甲類(lèi)特種氣體站與工廠建(構(gòu))筑物的防火間距，不得小于表7.2.1的規(guī)定。

表7.2.1 甲類(lèi)特種氣體站與工廠建(構(gòu))筑物的防火間距(m)

注：1 防火間距應(yīng)按相鄰建(構(gòu))筑物的外墻、凸出部分外緣、氣瓶集裝格外緣的最近距離計(jì)算。

2 甲類(lèi)特種氣體站與甲類(lèi)倉(cāng)庫(kù)之間的防火間距，當(dāng)?shù)?、4項(xiàng)物品使用儲(chǔ)量不大于2t，第12、5.6項(xiàng)物品使用儲(chǔ)量不大于5t時(shí)，不應(yīng)小于12m。

7.2.2 布置于生產(chǎn)廠房的甲、乙類(lèi)特種氣體間的耐火等級(jí)不應(yīng)低于二級(jí)，結(jié)構(gòu)構(gòu)件的耐火極限應(yīng)該符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016的有關(guān)規(guī)定。

7.2.3 特種氣體站內(nèi)的裝修材料應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50222的有關(guān)規(guī)定。

7.2.4 有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體間與無(wú)爆炸危險(xiǎn)房間之間，應(yīng)采用耐火極限不低于4.00h的不燃燒體防爆墻分隔，防爆墻上不應(yīng)開(kāi)設(shè)門(mén)窗洞口；設(shè)置雙門(mén)斗相通時(shí)，門(mén)應(yīng)錯(cuò)位布置，門(mén)應(yīng)為甲級(jí)防火門(mén)。

7.2.5 特種氣體站的電氣控制室應(yīng)設(shè)置在獨(dú)立的房間內(nèi)：與硅烷氣瓶間等有爆炸危險(xiǎn)的房間相鄰時(shí)，相鄰的隔墻不得有門(mén)窗、洞口，隔墻的耐火極限不得低于3.00h。

7.2.6 當(dāng)自燃性、易燃性特種氣體管道穿越防火隔斷時(shí)，應(yīng)采用不燃材料將管道與防火隔斷之間的縫隙填實(shí)封堵，封堵材料的耐火等級(jí)與防火隔斷應(yīng)相同。

7.2.7 有爆炸危險(xiǎn)的特種氣體房間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 安全出口不應(yīng)少于2個(gè)，并應(yīng)分散布置；

2 相鄰2個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m，其中1個(gè)應(yīng)直通室外；爆炸危險(xiǎn)的特種氣體房間通向疏散走道處應(yīng)設(shè)置門(mén)斗等防護(hù)措施，門(mén)斗隔墻為耐火極限不應(yīng)低于2.00h 防火隔墻，門(mén)應(yīng)采用甲級(jí)防火門(mén)；

3 爆炸危險(xiǎn)特種氣體的房間面積小于或等于100m2且同一時(shí)間的生產(chǎn)人數(shù)不超過(guò)5人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。

7.2.8 毒性、腐蝕性、惰性氣體間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 安全出口不應(yīng)少于2個(gè)，并應(yīng)分散布置；

2 相鄰2個(gè)安全出口最近邊緣之間的水平距離不應(yīng)小于5m，其中1個(gè)應(yīng)直通室外；毒性、腐蝕性、惰性氣體間通向疏散走道的門(mén)應(yīng)為乙級(jí)防火門(mén)；

3 毒性、腐蝕性、惰性氣體間的面積小于或等于150m2，且同一時(shí)間的作業(yè)人員不超過(guò)10人時(shí)，可設(shè)置一個(gè)直接通往室外的出口。

7.2.9 硅烷站安全出口的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷站的建筑面積大于或等于19m2時(shí)，不得少于兩個(gè)安全出口；建筑面積小于19m2時(shí)，不得少于一個(gè)安全出口；

2 硅烷站內(nèi)任何地點(diǎn)到最近安全出口的距離不得大于23m。

7.3 建筑構(gòu)造措施

7.3.1 特種氣體站房?jī)舾叨纫舜笥?.5m，并應(yīng)滿足設(shè)備與管道布置的要求;對(duì)于一些比空氣輕的氣體、混合氣體，可采用坡屋頂，并應(yīng)在屋頂最高處保持通風(fēng)良好。

7.3.2 特種氣體房間的疏散門(mén)應(yīng)采用平開(kāi)門(mén)，并應(yīng)向疏散方向開(kāi)啟，疏散門(mén)應(yīng)采用快開(kāi)式推桿鎖，不得采用其他形式的鎖具。有爆炸危險(xiǎn)房間的門(mén)窗應(yīng)采用撞擊時(shí)不產(chǎn)生火花的材料制作。

7.3.3 易燃性特種氣體相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，特種氣體間上部應(yīng)采取防止氣體集聚的措施。

7.3.4 易燃性種氣體相對(duì)密度大于0.75時(shí)，特種氣體間應(yīng)符合下列規(guī)定:

1 應(yīng)采用不產(chǎn)生火花的地面，并應(yīng)平整、耐磨、防滑；

2 采用絕緣材料作整體面層時(shí)，應(yīng)采取防靜電措施。

-8 電氣與防雷-

8.1 配電與照明

8.1.1 特種氣體站房的電力負(fù)荷分級(jí)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 特種氣體站房除檢修插座電源外不應(yīng)低于二級(jí)負(fù)荷；

2 氣體管理與氣體探測(cè)系統(tǒng)應(yīng)配置不間斷電源(UPS)。

8.1.2 特種氣體站房中的爆炸性氣體環(huán)境內(nèi)電氣設(shè)備選擇不應(yīng)低于2區(qū)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058的有關(guān)規(guī)定。

8.1.3 特種氣體站房的照明燈具宜安裝在操作與維修通道處，不宜安裝在設(shè)備正上方，并應(yīng)設(shè)置備用照明。

8.2 防雷與接地

8.2.1 特種氣體站的防雷分類(lèi)不應(yīng)低于第二類(lèi)防雷建筑物，并應(yīng)采取防直擊雷、防雷電感應(yīng)和防閃電電涌侵人的措施。

8.2.2 排放爆炸危險(xiǎn)氣體或蒸氣的放散管、風(fēng)管等物體的防雷應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)(《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50057中第一類(lèi)防雷建筑物的防雷措施中對(duì)管口保護(hù)范圍的有關(guān)規(guī)定;突出屋面的排放無(wú)爆炸危險(xiǎn)氣體或蒸氣的放散管、風(fēng)管，以及裝有阻火器的放散管、排風(fēng)管的防雷應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50057中第二類(lèi)防雷建筑物的防雷措施中的有關(guān)規(guī)定。

8.2.3 特種氣體管道在進(jìn)出建筑物處應(yīng)與防閃電感應(yīng)的接地裝置相連。室外架空敷設(shè)的特種氣體管道，宜每隔 25m接地一次，其沖擊接地電阻不宜大于10Ω。

8.2.4 特種氣體設(shè)備與管道應(yīng)采取防靜電接地措施，在管道進(jìn)出建筑物處、不同分區(qū)的環(huán)境邊界、管道分岔處及直管段每隔 30m處應(yīng)設(shè)防靜電接地。

8.2.5 設(shè)備接地端子、管道卡箍或法蘭與接地線之間，可采用螺栓緊固連接;對(duì)有振動(dòng)、位移的設(shè)備和管道，連接處應(yīng)加撓性連接線過(guò)渡。

8.2.6 特種氣體系統(tǒng)的電氣設(shè)備工作接地、保護(hù)接地、防雷接地以及防靜電接地等不同用途接地采用聯(lián)合接地方式時(shí)，接地裝置的接地電阻值應(yīng)按其中的最小值確定。

8.2.7 防靜電接地為單獨(dú)接地時(shí)每組接地電阻宜小于100Ω。

-9 公用工程-

9.1 給水排水

9.1.1 布置在特種氣體站房的給排水管道，應(yīng)按照水溫和所在房間的溫度與濕度要求采取隔熱和防結(jié)露措施。

9.1.2 特種氣體站房排出的有害廢水，不應(yīng)直接排至市政管網(wǎng)。

9.1.3 毒性、劇毒性、腐蝕性氣體的特種氣體間應(yīng)在安全區(qū)域設(shè)置緊急沖身洗眼器。

9.2 消防

9.2.1特種氣體站、特種氣體間室內(nèi)外消防的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》GB 50974 和《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50081的有關(guān)規(guī)定。

9.2.2 特種氣體站、特種氣體間應(yīng)配置手提滅火器，配置應(yīng)滿足現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50140的有關(guān)規(guī)定。

9.2.3 特種氣體站、特種氣體間應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)，噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于 8L/(min·m2)，保護(hù)面積不應(yīng)小于160m2，當(dāng)實(shí)際站房面積小于160m2時(shí)，可按實(shí)際面積計(jì)算。

9.2.4 特種氣體柜帶有白動(dòng)噴水冷卻裝置時(shí)，在廠房?jī)?nèi)設(shè)置的自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)應(yīng)為該系統(tǒng)預(yù)留管道和信號(hào)閥。

9.2.5 特種氣體站、特種氣體間內(nèi)存儲(chǔ)的特種氣體與水可能發(fā)生劇烈反應(yīng)時(shí)，該特種氣體間不得采用水消防系統(tǒng)。

9.2.6 硅烷站的消防系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，應(yīng)緊急切斷硅烷氣源，在未切斷氣源的情況下，嚴(yán)禁撲滅硅烷火焰；

2 發(fā)生硅烷火災(zāi)時(shí)，應(yīng)使用水對(duì)鋼瓶、儲(chǔ)罐等進(jìn)行冷卻；

3 不應(yīng)使用鹵代烷類(lèi)及二氧化碳滅火器；

4 硅烷站應(yīng)設(shè)置室外消火栓，室外消火栓應(yīng)設(shè)置在距大宗鋼瓶46m之內(nèi)。

9.2.7 硅烷站的自動(dòng)噴水系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 硅烷的輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置雨淋系統(tǒng)，雨淋系統(tǒng)可采用手動(dòng)啟動(dòng)方式，也可采用自動(dòng)啟動(dòng)方式，啟動(dòng)裝置的位置應(yīng)遠(yuǎn)離存儲(chǔ)硅烷的設(shè)備；

2 雨淋系統(tǒng)設(shè)計(jì)的噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于12L/(min·m2），火災(zāi)延續(xù)時(shí)間不應(yīng)小于 2h；雨淋系統(tǒng)保護(hù)部位應(yīng)包括硅烷鋼瓶瓶身、大宗硅烷儲(chǔ)罐本體；

3 切斷硅烷供應(yīng)系統(tǒng)的同時(shí)，啟動(dòng)雨淋系統(tǒng)；

4 當(dāng)硅烷站設(shè)有屋頂?shù)确烙甏胧r(shí)，建筑物本身可采用自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)進(jìn)行保護(hù)。設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于16L/(min·m2)，保護(hù)面積不應(yīng)小于260m2，當(dāng)實(shí)際站房面積小于260m2時(shí)，可按實(shí)際面積計(jì)算；

5 閉式噴淋系統(tǒng)、雨淋系統(tǒng)應(yīng)獨(dú)立設(shè)置報(bào)警閥。

9.2.8 存儲(chǔ)、分配和使用硅烷的房間應(yīng)設(shè)置自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)。

設(shè)計(jì)噴水強(qiáng)度不應(yīng)小于12L/(min·m2)，保護(hù)面積不應(yīng)小于260m2，當(dāng)實(shí)際房間面積小于260m2時(shí)，可按實(shí)際面積計(jì)算。

9.3 采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

9.3.1 特氣體站房應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機(jī)械通風(fēng)，通風(fēng)量應(yīng)滿足氣瓶柜的排風(fēng)要求，且特種氣體站房通風(fēng)換氣率不應(yīng)低于18m3/(h.m2)。

9.3.2 特種氣體氣瓶柜、閥門(mén)箱應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)裝置。

9.3.3 凡屬下列情況之一時(shí)，特種氣體站房應(yīng)分別設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)：

1 兩種或兩種以上的特種氣體混合后能引起燃燒或爆炸時(shí)；

2 特種氣體混合后發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成更大危害性或腐蝕性的混合物、化合物時(shí)；

3 混合后形成粉塵。

9.3.4 大宗特種氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng)，事故通風(fēng)量宜根據(jù)事故泄漏量計(jì)算確定，但房間換氣次數(shù)不應(yīng)小于12次/h。事故通風(fēng)應(yīng)與特種氣體站房環(huán)境探測(cè)器進(jìn)行聯(lián)鎖，并應(yīng)在特種氣體站房外設(shè)置事故通風(fēng)緊急按鈕。

9.3.5 硅烷氣瓶柜、閥門(mén)箱的排風(fēng)量計(jì)算應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 氣瓶柜內(nèi)、閥門(mén)箱的硅烷泄漏量應(yīng)按照硅烷限流孔直徑和最大儲(chǔ)存壓力計(jì)算：

2 排風(fēng)量應(yīng)滿足氣瓶柜內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%。

9.3.6 硅烷氣瓶組直接安裝在封閉的房間時(shí)，房間排風(fēng)量計(jì)算應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 房間內(nèi)的硅烷泄漏量應(yīng)按照硅烷限流孔直徑和最大儲(chǔ)存壓力計(jì)算；

2 排風(fēng)量應(yīng)滿足房間內(nèi)的硅烷體積濃度小于0.4%。

9.3.7 易燃性、毒性、腐蝕性氣瓶柜、閥門(mén)箱的排風(fēng)口與主排風(fēng)管道連接的支管應(yīng)采用剛性風(fēng)管。氣瓶柜、閥門(mén)箱的排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置防火閥。大宗有毒性氣體容器出口閥門(mén)部位應(yīng)設(shè)置抽風(fēng)罩。

9.3.8 特種氣體間排風(fēng)口位置應(yīng)根據(jù)特種氣體特性確定，當(dāng)相對(duì)密度小于或等于0.75時(shí)，排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在房間上部，當(dāng)相對(duì)密度大于0.75 時(shí)，排風(fēng)口應(yīng)設(shè)置在房間的下部。

9.3.9 特種氣體設(shè)備排風(fēng)和站房排風(fēng)，應(yīng)根據(jù)排風(fēng)的危害性和濃度設(shè)置處理裝置。

9.3.10 特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置備用機(jī)組。特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)電源應(yīng)設(shè)置應(yīng)急電源。

9.3.11 特種氣體站房宜設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 室內(nèi)溫度、濕度設(shè)計(jì)參數(shù)應(yīng)滿足氣瓶柜的要求，當(dāng)氣瓶柜無(wú)具體要求時(shí)，室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)宜滿足溫度為 23℃±5℃C，濕度為30%～70%的環(huán)境要求；

2不得采用循環(huán)空氣。

9.3.12 空調(diào)風(fēng)管不應(yīng)穿越特種氣體間之間的分隔墻。

9.3.13 空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置備用空調(diào)機(jī)組，或采用措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)，能滿足特種氣體房間的通風(fēng)要求。

9.3.14 空調(diào)系統(tǒng)宜設(shè)置應(yīng)急電源。

9.3.15 特種氣體設(shè)備及站房排風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管應(yīng)采用不燃材料制作，保溫應(yīng)采用不燃或難燃材料，腐蝕性特種氣體的排風(fēng)管道應(yīng)采用耐腐蝕材料制作。

9.3.16特種氣體設(shè)備排風(fēng)管道、站房通風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置。

9.3.17 特種氣體站房排風(fēng)系統(tǒng)不得與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)控制；火災(zāi)發(fā)生時(shí)，嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)。

-10 特種氣體系統(tǒng)工程施工-

10.1 一般規(guī)定

10.1.1 特種氣體系統(tǒng)工程施工應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB50235、《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50184、《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》GB 50236和《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50683 的有關(guān)規(guī)定。

10.1.2 特種氣體系統(tǒng)使用的不銹鋼管道應(yīng)采用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接，高純氬氣保護(hù)。

10.1.3 安裝和試驗(yàn)檢測(cè)用計(jì)量器具應(yīng)經(jīng)檢驗(yàn)合格并在有效期內(nèi)使用。

10.1.4 特種氣體系統(tǒng)工程施工前應(yīng)編制專(zhuān)項(xiàng)施工方案，并應(yīng)經(jīng)業(yè)主審批后實(shí)施。

10.1.5 主要設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)應(yīng)提供下列文件：

1 產(chǎn)品合格證、質(zhì)量保證書(shū)、性能測(cè)試報(bào)告；

2 產(chǎn)品安裝、使用、維護(hù)和試驗(yàn)要求等技術(shù)文件；

3 產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、數(shù)量、設(shè)備附件及專(zhuān)用工具。

10.1.6 設(shè)備材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收、焊接樣品鑒定時(shí)，建設(shè)單位技術(shù)人員應(yīng)在場(chǎng)檢驗(yàn)確認(rèn)。

10.2 主要設(shè)備、材料進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收

10.2.1 氣瓶柜、氣瓶架、閥門(mén)箱、閥門(mén)盤(pán)進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 外包裝上應(yīng)具有防止傾倒、輕放、防雨標(biāo)識(shí)、防震標(biāo)識(shí)，并應(yīng)完整無(wú)損；

2 表面應(yīng)平整光潔、色澤一致、無(wú)毛刺、無(wú)劃痕、無(wú)銹蝕、不起鼓；柜體頂部應(yīng)設(shè)抽風(fēng)口，柜門(mén)下方應(yīng)設(shè)可調(diào)節(jié)空氣過(guò)濾網(wǎng)進(jìn)風(fēng)口；

3 面板上應(yīng)有氣體的名稱(chēng)、化學(xué)式、濃度、化學(xué)性質(zhì)和危險(xiǎn)標(biāo)志的標(biāo)識(shí)，并應(yīng)有管線、閥體及附件相互連接的系統(tǒng)圖；同時(shí)，應(yīng)配有與其對(duì)應(yīng)的操作手冊(cè)；

4 內(nèi)部引出的管路和閥件接口應(yīng)用專(zhuān)用管帽和堵頭封堵；

5 在運(yùn)輸過(guò)程中盤(pán)面內(nèi)應(yīng)保有不低于0.1MPa(表壓)壓力的氮?dú)猓?/p>

6 閥門(mén)、儀表與面板之間應(yīng)有專(zhuān)用閥門(mén)支撐件，支撐件材質(zhì)應(yīng)采用不銹鋼；不得將閥門(mén)、儀表等直接用螺栓固定在面板上。

10.2.2 尾氣處理裝置進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 尾氣處理裝置進(jìn)場(chǎng)應(yīng)對(duì)外觀、外形尺寸、構(gòu)成、接口、銘牌、氣密試驗(yàn)、閥門(mén)動(dòng)作、信號(hào)傳輸?shù)刃阅苓M(jìn)行檢查和核對(duì)；

2 尾氣處理裝置的主要組成件、附件應(yīng)符合設(shè)計(jì)與合同的要求，隨機(jī)資料和專(zhuān)用工具應(yīng)齊全；

3 酸堿中和裝置的洗滌塔、風(fēng)機(jī)、泵、控制盤(pán)、酸(堿)儲(chǔ)罐以及連接管路等應(yīng)進(jìn)行外觀檢查，隨機(jī)資料應(yīng)齊全；

4 尾氣處理裝置、風(fēng)機(jī)、泵的出廠合格證、性能測(cè)試報(bào)告，銘牌、標(biāo)識(shí)應(yīng)齊全；

5 系統(tǒng)流程圖、控制原理圖、設(shè)備使用說(shuō)明書(shū)應(yīng)齊全。

10.2.3 管道、管件和閥門(mén)進(jìn)場(chǎng)驗(yàn)收應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 在非潔凈室全數(shù)目測(cè)檢查管道外包裝，不得有破損、變形；

2 檢查合格的管道、管件及閥門(mén)搬入潔凈室前，應(yīng)在緩沖間(前室)去除外包裝薄膜；搬入潔凈室后，應(yīng)按種類(lèi)、規(guī)格分別存放在潔凈室的貨架上，不得直接放在地面上。潔凈室的潔凈度宜優(yōu)于或等于7級(jí)(0. 5μm)；

3 進(jìn)場(chǎng)的管道、管件和閥門(mén)應(yīng)有產(chǎn)品規(guī)格、型號(hào)、合格證、材質(zhì)證明、使用說(shuō)明書(shū)、檢驗(yàn)報(bào)告。

10.2.4 管道、管件和閥門(mén)應(yīng)在潔凈室內(nèi)進(jìn)行內(nèi)包裝開(kāi)封檢查，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管道、管件、閥門(mén)應(yīng)有獨(dú)立的內(nèi)包裝，端口均應(yīng)裝有防塵帽；

2 管道、管件、閥門(mén)檢查后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)包裝及防塵帽；

3 管道外觀檢查應(yīng)按全數(shù)的5%以上抽查，規(guī)格尺寸、壁厚，圓度、端面平整度等應(yīng)符合產(chǎn)品的技術(shù)要求；

4 材質(zhì)檢查宜采用便攜式金屬光譜分析儀檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機(jī)抽查5%以上，且不得少于1件，其化學(xué)成分應(yīng)符合材質(zhì)質(zhì)量保證書(shū)及相關(guān)要求；

5 管道、管件內(nèi)表面粗糙度應(yīng)采用樣品比較法在管道兩端檢查，每批每種規(guī)格應(yīng)隨機(jī)抽查5％以上，且不得少于1件，有不合格時(shí)應(yīng)加倍抽查；

6 管道內(nèi)壁平均表面粗糙度Ra及最大表面糙度Rmax應(yīng)滿足設(shè)計(jì)文件的要求。

10.3 氣瓶柜與氣瓶架的安裝

10.3.1 氣瓶柜和氣瓶架應(yīng)按設(shè)計(jì)要求定位。

10.3.2 氣瓶柜氣瓶架就位找平、找正后，應(yīng)固定牢固。

10.3.3 氣瓶柜和氣瓶架的垂直度偏差不應(yīng)大于1.5%成列盤(pán)面的垂直度偏差不應(yīng)大于5mm。

10.3.4 氣瓶柜的安裝應(yīng)確保柜門(mén)開(kāi)關(guān)自如，不得扭曲變形、關(guān)閉不嚴(yán)。

10.4 閥門(mén)箱與閥門(mén)盤(pán)的安裝

10.4.1 閥門(mén)箱和閥門(mén)盤(pán)應(yīng)固定在專(zhuān)用支座上或固定支架固定在梁、柱與墻上，不得將閥門(mén)箱直接固定在地面上。

10.4.2 閥門(mén)箱和閥門(mén)盤(pán)的支座宜采用專(zhuān)用鍍鋅型鋼、專(zhuān)用噴塑型鋼或?qū)Ｓ貌讳P鋼型鋼裝配式連接，不宜采用焊接。

10.4.3 閥門(mén)箱和閥門(mén)盤(pán)的垂直度偏差不應(yīng)大于1.5‰，成列盤(pán)面的垂直度偏差不應(yīng)大于5mm。

10.4.4 閥門(mén)箱與閥門(mén)盤(pán)就位找平后，應(yīng)固定牢固。

10.4.5 連接閥門(mén)與閥門(mén)盤(pán)、閥門(mén)箱的螺栓應(yīng)為不銹鋼螺栓，不得將閥門(mén)和管道系統(tǒng)與任何未經(jīng)處理的碳鋼件直接接觸。

10.5 尾氣處理裝置及純化器的安裝

10.5.1 尾氣處理裝置安裝應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收通用規(guī)范》GB50231的有關(guān)規(guī)定。

10.5.2 尾氣處理裝置的基礎(chǔ)應(yīng)堅(jiān)固平整，水平度不得大于3‰。

10.5.3 每個(gè)系統(tǒng)的管線及閥門(mén)都應(yīng)貼上顯著的正確標(biāo)識(shí)，閥門(mén)應(yīng)開(kāi)關(guān)靈活，鎖定裝置應(yīng)可靠。

10.5.4 干式尾氣處理裝置及純化器安裝時(shí)，應(yīng)防止吸附劑長(zhǎng)期接觸空氣。

10.6 特種氣體管道安裝

10.6.1 特種氣體管道下料、預(yù)制應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 工作人員應(yīng)穿戴潔凈服、潔凈口罩、潔凈無(wú)塵手套在潔凈室內(nèi)進(jìn)行下料、預(yù)制等各項(xiàng)操作，不得用裸手接觸管口及管道內(nèi)壁；

2 管外徑小于或等于1/2”的管道切割應(yīng)使用不銹鋼管切管器，切割后應(yīng)以平口機(jī)處理管口，并應(yīng)用專(zhuān)用倒角器去除管口內(nèi)外毛刺，管口端面應(yīng)垂直、不變形，滿足不加絲自動(dòng)軌道氬弧焊要求；不得使用塑料管割刀替代；

3 平口機(jī)處理管口時(shí)應(yīng)將管口向下，并應(yīng)在另一端管口用高純氮?dú)饪焖俅祾?，不得將剛平口處理的管口向上?/p>

4 管外徑大于1/2"的管道切割應(yīng)采用不銹鋼管潔凈專(zhuān)用切割機(jī)，切割時(shí)不得使用潤(rùn)滑油：切口端面應(yīng)垂直、無(wú)毛刺、不變形；滿足不加絲自動(dòng)軌道氬弧焊要求；不得使用手工鋸、砂輪切割機(jī)切割；

5 管道切管作業(yè)時(shí)，應(yīng)分別從兩端管口將高純氮?dú)饣驓鍤馔ㄈ牍軆?nèi)，并不得損傷管道外壁；

6 管口倒角作業(yè)時(shí)，不得損傷管道內(nèi)壁，并不得采用什錦銼對(duì)管口進(jìn)行倒角；

7 管道吹掃完畢，應(yīng)使用不產(chǎn)塵的潔凈布沾上異丙醇或無(wú)水乙醇將切割管口清洗干凈，應(yīng)迅速用潔凈防塵帽或潔凈膠帶將管口封堵；

8 切割結(jié)束后，剩余管材應(yīng)以潔凈防塵帽封或潔凈膠帶堵后裝入包裝袋中；

9 管道預(yù)制焊接總長(zhǎng)度不應(yīng)超過(guò)12m，預(yù)制時(shí)應(yīng)放置在專(zhuān)用支座上，支點(diǎn)數(shù)量不得少于4個(gè)；管道運(yùn)輸時(shí)每3m長(zhǎng)度應(yīng)設(shè)一個(gè)支點(diǎn)。

10.6.2特種氣體管道配管應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 按照管道系統(tǒng)單線圖，應(yīng)將規(guī)定尺寸的管段及預(yù)制好的管道有序放在管架上，用專(zhuān)用夾具定位后進(jìn)行預(yù)連接，并應(yīng)通入適量的高純氬氣進(jìn)行保護(hù)；

2 支架宜采用碳鋼噴塑、不銹鋼、熱鍍鋅C型鋼或鋁合金的槽式橋架組合；

3 支架應(yīng)采用機(jī)械切割，不得氣割，切割后的端頭應(yīng)倒角并涂環(huán)氧漆后加蓋塑料封頭；

4 當(dāng)采用有蓋槽式不銹鋼橋架或鋁制橋架時(shí)，應(yīng)采用樹(shù)脂薄板將橋架與鋼制綜合支架隔離；

5 管外徑小于或等于1/2“管道宜采用a型不銹鋼管卡或鍍鎳電工管卡；大于或等于3/4”管道宜采用U型不銹鋼管卡或帶塑料管束的鍍鋅P型卡；

6 管外徑大于1/2”的管道彎頭應(yīng)采用成品彎頭；管外徑小于或等于1/2”的彎頭可在現(xiàn)場(chǎng)使用專(zhuān)用彎管器揻制，BA級(jí)管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的3倍，EP級(jí)管道彎頭彎曲半徑不應(yīng)小于管外徑的5倍，公、英制彎管器不應(yīng)混用；

7 不銹鋼管道密封接頭的密封墊片應(yīng)根據(jù)氣體的性質(zhì)采用不銹鋼墊片或鎳墊片，嚴(yán)禁采用非金屬墊片、有劃傷的墊片以及將使用過(guò)的墊片，在同一密封面應(yīng)采用一個(gè)墊片；

8 特種氣體管道與用氣生產(chǎn)工藝設(shè)備之間的連接應(yīng)采用不銹鋼管道面密封接頭或自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接，不得采用非金屬軟管；管道穿墻部位應(yīng)設(shè)套管，并應(yīng)以難燃材料填充套管與管道之間的間隙：同時(shí)應(yīng)對(duì)穿墻部位加以密封。

10.6.3 特種氣體管道焊接應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 施工單位在工程開(kāi)工前應(yīng)對(duì)參加該工程的焊工進(jìn)行認(rèn)證，并應(yīng)向建設(shè)單位提交管道焊接樣品、焊接合格確認(rèn)單，經(jīng)建設(shè)單位項(xiàng)目技術(shù)負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)后方能進(jìn)行焊接施工，施工單位應(yīng)保留合格的焊接樣品和記錄；

2 應(yīng)使用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接，所用氬氣純度不得小于99.999%,焊接用氣體應(yīng)加裝可調(diào)節(jié)流量計(jì)顯示氣體流量，內(nèi)保護(hù)氣應(yīng)裝壓力計(jì)監(jiān)測(cè)管內(nèi)壓力；

3 在正式焊接前、更換焊頭后、更換鎢棒后、改變焊接管徑、焊機(jī)電源關(guān)閉重新啟動(dòng)后都應(yīng)進(jìn)行焊接測(cè)試，焊接測(cè)試樣品經(jīng)質(zhì)量檢驗(yàn)員檢查合格并填寫(xiě)焊接合格確認(rèn)單后方可正式施焊；在結(jié)束焊接前也應(yīng)進(jìn)行焊接測(cè)試，并應(yīng)檢查正式施焊后所焊焊接接頭是否合格；

4 焊接前應(yīng)編制焊接工藝規(guī)程和繪制系統(tǒng)的單線圖，單線圖上應(yīng)對(duì)焊接接頭進(jìn)行編號(hào)，編號(hào)應(yīng)與焊接記錄的焊接接頭編號(hào)一致；

5 應(yīng)嚴(yán)格按照焊接工藝規(guī)程要求進(jìn)行焊接，焊接過(guò)程中應(yīng)做好焊接記錄，焊接接頭處應(yīng)標(biāo)明焊接時(shí)間、焊工姓名或焊工鋼印號(hào)、焊接接頭編號(hào)、介質(zhì)名稱(chēng)；

6 對(duì)接接頭組對(duì)時(shí)應(yīng)對(duì)稱(chēng)均勻，接頭錯(cuò)邊量不應(yīng)大于管壁厚度的10%，且管道不得在焊接接頭的位置彎曲；

7 管外徑大于或等于1"時(shí)，焊接前應(yīng)先采用手工氬弧焊機(jī)進(jìn)行不加絲對(duì)稱(chēng)點(diǎn)焊預(yù)連接，點(diǎn)焊時(shí)管內(nèi)應(yīng)通入高純氬氣進(jìn)行保護(hù)，點(diǎn)焊后應(yīng)對(duì)焊點(diǎn)進(jìn)行潔凈處理，并應(yīng)用潔凈膠帶密封焊接接頭；

8 焊機(jī)應(yīng)采用專(zhuān)用配電箱，當(dāng)電源電壓不穩(wěn)定時(shí)應(yīng)采用自動(dòng)穩(wěn)壓裝置供電。焊機(jī)本體應(yīng)可靠接地；

9 焊接時(shí)的保護(hù)氣體流量應(yīng)以做焊接樣品的保護(hù)氣體流量為基準(zhǔn)；施工過(guò)程中應(yīng)連續(xù)充氣保護(hù)。施工中斷時(shí)可降低充氣流量，但應(yīng)確保管內(nèi)呈正壓；

10 每一個(gè)系統(tǒng)焊接完成后，均應(yīng)充高純氣或氮?dú)庹龎罕Ｗo(hù)；

11 外焊縫寬度應(yīng)為管壁厚度的2.5倍~4.0倍，內(nèi)焊縫寬度不應(yīng)小于外焊縫寬度的2/3倍，焊縫不應(yīng)有裂紋、未焊透、未熔合焊接缺陷，不得有氣孔、夾渣、咬邊等缺陷。焊縫錯(cuò)邊量不應(yīng)大于管壁厚度的10%，管內(nèi)、外焊縫凹、凸起高度不應(yīng)大于管道壁厚的10%。

10.6.4 低蒸汽壓特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第10.6.1條～第10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 管路應(yīng)安裝伴熱帶并用保溫棉包覆管路；

2 當(dāng)管道穿越溫差較大區(qū)域時(shí)應(yīng)分段加熱。

10.6.5 雙層管特種氣體管道施工除應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第 10.6.1條~第 10.6.3條的規(guī)定外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

1當(dāng)雙層管焊接施工時(shí)，應(yīng)先實(shí)施內(nèi)管的焊接，并在焊接接頭處應(yīng)安裝滑套；

2 當(dāng)雙層管焊接外管及滑套時(shí)，內(nèi)管和外管都應(yīng)充高純氬氣保護(hù)，宜采用自動(dòng)軌道氬弧焊機(jī)焊接；

3 內(nèi)管焊接完成后應(yīng)先做壓力試驗(yàn)和氦檢漏，確認(rèn)內(nèi)管無(wú)泄漏后，方可焊接外管上的滑套；

4 雙層管的內(nèi)管和外管之間應(yīng)安裝彈簧進(jìn)行隔離，內(nèi)管和外管不得直接接觸；5雙套管施工宜采用分段隔絕的方式施工，從氣瓶柜到閥門(mén)箱的外層套管不得全部相通。

10.7 特種氣體管道改擴(kuò)建工程施工

10.7.1 改建、擴(kuò)建、拆除特種氣體管道工程的施工應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 施工單位在開(kāi)工前應(yīng)編制施工方案;內(nèi)容應(yīng)包含重點(diǎn)部位、作業(yè)過(guò)程注意事項(xiàng)，危險(xiǎn)作業(yè)過(guò)程的監(jiān)控，應(yīng)急預(yù)案，緊急聯(lián)系電話和專(zhuān)門(mén)負(fù)責(zé)人，對(duì)潛在的危險(xiǎn)應(yīng)向施工人員進(jìn)行詳盡的技術(shù)交底；

2 生產(chǎn)區(qū)與施工區(qū)之間應(yīng)采取臨時(shí)隔離措施及設(shè)置危險(xiǎn)警示標(biāo)志，施工人員不得進(jìn)入與施工無(wú)關(guān)的區(qū)域；

3 施工現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)有業(yè)主和施工方的技術(shù)人員在場(chǎng)，閥門(mén)的開(kāi)關(guān)動(dòng)作、電氣開(kāi)關(guān)動(dòng)作、氣體置換操作等都應(yīng)由專(zhuān)人在業(yè)主技術(shù)人員的指導(dǎo)下完成，未經(jīng)許可，不得操作；切割改造工作時(shí)應(yīng)提前在被切割管道全線和切割處明顯標(biāo)識(shí)，標(biāo)識(shí)管道現(xiàn)場(chǎng)需得到業(yè)主和施工方的技術(shù)人員確認(rèn)。

10.7.2 施工前應(yīng)將管道內(nèi)的特種氣體用高純氮?dú)馔耆脫Q，被置換出的氣體應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置處理，達(dá)標(biāo)后排放。

10.7.3 施工完畢、測(cè)試合格后，應(yīng)將管道系統(tǒng)內(nèi)充入0.1MPa(表壓)的高純氮?dú)狻?/p>

-11 特種氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收-

11.1 一般規(guī)定

11.1.1 特種氣體系統(tǒng)驗(yàn)收應(yīng)包括設(shè)備驗(yàn)收、管路系統(tǒng)驗(yàn)收和氣體探測(cè)(監(jiān)控)系統(tǒng)驗(yàn)收等。

11.1.2 特種氣體系統(tǒng)的驗(yàn)收應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB50184 和《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB 50235的有關(guān)規(guī)定。

11.2 設(shè)備驗(yàn)收

11.2.1 設(shè)備驗(yàn)收應(yīng)按照設(shè)備工藝流程圖、配置表以及鋼瓶容器接口形式、使用壓力等級(jí)等參數(shù)對(duì)設(shè)備內(nèi)部的管路流程、各部件的選型和安裝等進(jìn)行檢驗(yàn)。

11.2.2 設(shè)備驗(yàn)收應(yīng)檢查設(shè)備出廠的測(cè)試檢驗(yàn)報(bào)告，設(shè)備定位安裝后宜對(duì)盤(pán)面再次進(jìn)行壓力、氨檢漏測(cè)試。

11.2.3 設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供合格的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備功能調(diào)試報(bào)告與操作手冊(cè)，監(jiān)控部件的功能、參數(shù)設(shè)置和聯(lián)鎖、聯(lián)動(dòng)作用等應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。

11.2.4 安裝在防爆區(qū)域內(nèi)的設(shè)備，其電器部件應(yīng)符合相關(guān)防爆要求。

11.2.5 尾氣處理設(shè)備的驗(yàn)收應(yīng)包括外觀檢查，工藝流程檢驗(yàn)，設(shè)備部件功能測(cè)試，設(shè)備供應(yīng)商應(yīng)提供合格的現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備功能調(diào)試報(bào)告與操作手冊(cè)。

11.3 管路與系統(tǒng)驗(yàn)收

11.3.1 管路安裝完成后應(yīng)首先進(jìn)行包括管件的安裝位置和方向，彎頭揻制，焊接質(zhì)量的外觀檢查。

11.3.2 管路外觀檢查合格后，應(yīng)按規(guī)定進(jìn)行壓力，氦檢漏，顆粒，水分，氧分等5項(xiàng)測(cè)試，測(cè)試合格后應(yīng)提交相應(yīng)測(cè)試報(bào)告并得到相關(guān)人員的簽字認(rèn)可。

11.3.3 管路及系統(tǒng)驗(yàn)收應(yīng)檢查其組成部件的質(zhì)量文件，施工過(guò)程中的焊樣、焊接日志應(yīng)完整并具有可追溯性。

11.3.4 系統(tǒng)驗(yàn)收前應(yīng)先確定現(xiàn)場(chǎng)所有缺失項(xiàng)都已整改完成并得到相關(guān)人員簽字確認(rèn)，所有竣工文件資料都已提交相關(guān)部門(mén)。文件的檢驗(yàn)應(yīng)包括但不僅限于竣工圖紙，最終技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)，報(bào)審、報(bào)驗(yàn)報(bào)告，焊接日志，測(cè)試、調(diào)試報(bào)告，操作說(shuō)明書(shū)。

11.4 氣體探測(cè)(監(jiān)控)系統(tǒng)驗(yàn)收

11.4.1 特種氣體探測(cè)器安裝完成后，應(yīng)檢查探測(cè)器的數(shù)量、類(lèi)型、標(biāo)定時(shí)間、報(bào)警設(shè)定和安裝位置、取樣管長(zhǎng)度、排放管排放位置、電源信號(hào)接線，出廠質(zhì)量文件等內(nèi)容。

11.4.2 根據(jù)控制邏輯圖，應(yīng)對(duì)探測(cè)器的報(bào)警和切斷輸出信號(hào)進(jìn)行點(diǎn)對(duì)點(diǎn)模擬測(cè)試，并應(yīng)保證聯(lián)動(dòng)控制和聲光報(bào)警正確動(dòng)作。

11.4.3 監(jiān)控系統(tǒng)的驗(yàn)收應(yīng)檢查包括電腦內(nèi)存和硬盤(pán)容量、CPU選型、控制箱面板、輸入輸出設(shè)備位置和數(shù)量、電纜規(guī)格、電源、接地等設(shè)施應(yīng)符合設(shè)計(jì)文件的規(guī)定。

11.4.4 測(cè)試軟件系統(tǒng)圖形應(yīng)與實(shí)際系統(tǒng)應(yīng)一致，系統(tǒng)內(nèi)的各項(xiàng)設(shè)置應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求。

-附錄-

附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法

A.0.1 順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

A.0.2 內(nèi)向檢漏法(噴氦法)應(yīng)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

A.0.3 閥座檢漏法應(yīng)采用閥門(mén)上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

A.0.4 外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

A.0.5 氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1X10-10mbar·L/s。

A.0.6 特種氣體系統(tǒng)氫檢漏的泄漏率應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1X10-9mbar·L/s;

2 閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1X10-6mbar·L/s;

3外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1X10-6mbar·L/s。

A.0.7 氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過(guò)氣密性試驗(yàn)合格后，然后按規(guī)定再進(jìn)行氨檢漏。

A.0.8 所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。

A.0.9 系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)饣驓?，并?yīng)進(jìn)行吹掃。

A.0.10 測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。

附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體）

表B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)

- 說(shuō)明 -

本標(biāo)準(zhǔn)用詞說(shuō)明

1 為便于在執(zhí)行本標(biāo)準(zhǔn)條文時(shí)區(qū)別對(duì)待，對(duì)要求嚴(yán)格程度不同的用詞說(shuō)明如下：

1) 表示很?chē)?yán)格，非這樣做不可的：

正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”；

2) 表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：

正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”；

3) 表示允許稍有選擇，在條件許可時(shí)首先應(yīng)這樣做的：

正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”；

4) 表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。

2 條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫(xiě)法為：“應(yīng)符合….的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。

引用標(biāo)準(zhǔn)名錄

《建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB 50016

《建筑物防雷設(shè)計(jì)規(guī)范GB 50057

《爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50058

《自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50081

《建筑滅火器配置設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50140

《工業(yè)金屬管道工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50184

《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222

《機(jī)械設(shè)備安裝工程施工及驗(yàn)收通用規(guī)范》GB 50231

《工業(yè)金屬管道工程施工規(guī)范》GB 50235

《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工規(guī)范》GB 50236

《工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50316

《現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備、工業(yè)管道焊接工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范》GB 50683

《消防給水及消火栓系統(tǒng)技術(shù)規(guī)范》GB 50974

《流體輸送用不銹鋼無(wú)縫鋼管》GB/T 14976

《危險(xiǎn)化學(xué)品重大危險(xiǎn)源辨識(shí)》GB 18218

《化工裝置工藝系統(tǒng)工程設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定》HG/T 20570