首選我們先了解一下什么是高純氧？高純氧是一種無色無臭無味氣體，分子式是O2。大部分都是由空氣分離制造的，即將空氣液化后經(jīng)精餾提純。也可采用低溫全精餾法。少量氧采用電解氧為原料，經(jīng)催化脫氫可制取純度為99.99%以上的高純氧。其他純化方法有變壓吸附法和膜分離法。

 高純氧可用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積；作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑；干法氧化；與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質(zhì)；在冶金工業(yè)中有廣泛應(yīng)用。還可用于水質(zhì)處理。所有的氧化反應(yīng)和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時(shí)除硫、磷等雜質(zhì)，氧和乙炔混合氣燃燒時(shí)溫度高達(dá)3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產(chǎn)、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。

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